整个玻璃基板的制程中,主要技术包括进料、薄板成型及后段加工三部分,其中进料技术主要控制于配方的好坏,首先是在高温的熔炉中将玻璃原料熔融成低黏度且均匀的玻璃熔体,不但要考虑玻璃各项物理与化学特性,并需在不改变化学组成的条件下,选取原料更好的配方,以便有效降低玻璃熔融温度,使玻璃澄清,同时达到玻璃特定性能,符合实际应用之需求。而薄板成型技术则攸关尺寸精度、表面性质和是否需进一步加工研磨,以达成特殊的物理、化学特性要求,后段加工则包含玻璃之分割、研磨、洗净及热处理等制程。
到目前为止,生产平面显示器用玻璃基板有三种主要之制程技术,分别为浮式法(Float Technology)、流孔下引法(Slot Down Draw)及溢流熔融法(Overflow Fusion Technology)。“浮式法”因系水平引伸的关系,表面会产生伤痕及凹凸,需再经表面研磨加工,故投资金额较高,惟其具有可生产较宽之玻璃产品(宽幅可达2 . 5公尺)且产能较大(约达1 0万平方公尺/月)之优点;“溢流熔融法”有表面特性较能控制、不用研磨、制程较简单等优点,特别适用于产制厚度小于2 m m的超薄平板玻璃,但生产之玻璃宽幅受限于1.5米以下,产能因而较小。浮式法可以生产适用于各种平面显示器使用之玻璃基板,而溢流熔融法目前则仅应用于生产TFT- LCD玻璃基板。
目前在商业上应用的玻璃基板,其主要厚度为0.7 mm及0.5m m,且即将迈入更薄(如0.4mm)厚度之制程。基本上,一片TFT- LCD面板需使用到二片玻璃基板,分别供作底层玻璃基板及彩色滤光片(COLOR FILTER)之底板使用。一般玻璃基板制造供货商对于液晶面板组装厂及其彩色滤光片加工制造厂之玻璃基板供应量之比例约为1:1.1至1:1.3左右。 LCD所用之玻璃基板概可分为碱玻璃及无碱玻璃两大类;碱玻璃包括钠玻璃及中性硅酸硼玻璃两种,多应用于TN及STN LCD上,主要生产厂商有日本板硝子(NHT)、旭硝子(Asahi)及中央硝子(Central Glass)等,以浮式法制程生产为主;无碱玻璃则以无碱硅酸铝玻璃(Alumino Silicate Glass,主成分为SiO2、Al2O3、B2O3及BaO等)为主,其碱金属总含量在1%以下,主要用于TFT- LCD上,领导厂商为美国康宁(Corning)公司,以溢流熔融法制程生产为主。
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